Cảm biến khí NH3 dạng màng mỏng SNO2/WO3

Giải pháp hữu ích về “Cảm biến khí NH3 dạng màng mỏng SNO2/WO3 và quy trình chế tạo”.

Số bằng: 2-0002270.

Ngày công bố: 27/1/2020.

Tác giả: Nguyễn Văn Toán, Nguyễn Văn Hiếu, Nguyễn Văn Duy, Nguyễn Đức Hoà, Chử Mạnh Hưng.

Chủ bằng: Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội.

Giải pháp hữu ích đề cập tới cảm biến khí NH3 dạng màng mỏng SnO2/WO3 và quy trình chế tạo được tao ra trên mặt phẳng đế Si/SiO2 (1, 2), bao gồm các thành phần như điện cực Cr/Pt song song và lò vi nhiệt bao quanh (3, 4), lớp vật liệu màng mỏng SnO2 (5) có chiều dày (40nm) được phủ lên điện cực và lớp vật liệu màng mỏng WO3 (6) dày trong khoảng (5 ÷ 15 nm) được phủ trực tiếp lên màng mỏng SnO2 và điện cực. Giải pháp hữu ích này khác biệt ở chỗ sử dụng trực tiếp màng mỏng trên màng mỏng. Đặc biệt, việc biến tính này đã tạo ra các vật liệu có khả năng tăng cường độ đáp ứng khí của vật liệu, ngoài ra cũng làm giảm nhiệt độ làm việc của vật liệu màng mỏng ô xit kim loại bán dẫn.

Đọc toàn văn:

http://www.noip.gov.vn/documents/20182/838002/2270.pdf/fef212a1-22c2-4c88-b76b-73290187c686

Theo noip.gov.vn

Cảm biến khí NH3 dạng màng mỏng SNO2/WO3

Bình luận của bạn
*
*
*
*
 Captcha

Logo Bottom

Địa chỉ: 268 Lý Thường Kiệt, P.14, Q.10, TP.Hồ Chí Minh           Tel: 38647256 ext. 5419, 5420           Email: thuvien@hcmut.edu.vn

Thiết kế website Webso.vn