Màng SnO2 pha tạp N

Bài báo “Ảnh hưởng bề dày đến cấu trúc và tính chất quang điện của màng SnO2 pha tạp N”.

Tác giả: Nguyễn Thanh Tùng, Đặng Hữu Phúc, Lê Trấn

Trích trong Tạp chí Phát triển Khoa học và Công nghệ - Kĩ thuật và Công nghệ, đăng ngày 31/12/2019.

Màng SnO2 pha tạp N (NTO) với các bề dày khác nhau (320, 420, 520, 620 và 720 nm) được chế tạo được lắng đọng ở 300 độ C trong hỗn hợp khí phún xạ Ar /N ( tỷ lệ 1:1) bằng phương pháp phún xạ magnetron DC. Ảnh hưởng của bề dày đến cấu trúc tinh thể, các hằng số quang học (chiết suất hay hệ số tắt) và tính chất điện được khảo sát bằng các phép đo như nhiễu xạ tia X, phổ UV -Vis và Hall.

Kết quả thu được chất lượng tinh thể và hằng số quang học cải thiện khi bề dày tăng. Cụ thể, màng NTO ở bề dày 620nm có cấu trúc tinh thể tốt nhất và các giá trị như kích thước tinh thể, chiết suất và độ linh động hạt tải lớn nhất cũng như hệ số tắt nhỏ nhất.

Ngoài ra, các màng NTO đều có cấu trúc cubic với mặt ưu tiên là (111). Bên cạnh đó, độ linh động lỗ trống tăng khi bề dày tăng và đạt giá trị lớn nhất 14,95 cm2 V-1-s1 đối với màng NTO – 620nm. Tính chất điện loại p của màng NTO được kiểm định bằng phổ quang điện tử tia X (XPS) và đặc trưng I-V khi được chiếu sáng của cấu trúc dị thể p – NTO/n – Si. Trong đó, màng loại p NTO – 620 được chế tạo trên đế loại n Si cho tỷ số dòng phân cực nghịch khi chiếu sáng và không chiếu sáng 58 lần ở - 6V, kết quả này cho thấy màng loại p NTO hứa hẹn trong tương lai được sử dụng làm cảm biến quang học.

Ghi tài liệu tham khảo theo IEEE

[1] “Ảnh hưởng bề dày đến cấu trúc và tính chất quang điện của màng SnO2 pha tạp N”. http://stdjet.scienceandtechnology.com.vn/index.php/stdjet/article/view/604/871 (truy cập tháng 5 18, 2020).

Đọc toàn văn:

http://stdjet.scienceandtechnology.com.vn/index.php/stdjet/article/view/604/871

Màng SnO2 pha tạp N

Bình luận của bạn
*
*
*
*
 Captcha

Logo Bottom

Địa chỉ: 268 Lý Thường Kiệt, P.14, Q.10, TP.Hồ Chí Minh           Tel: 38647256 ext. 5419, 5420           Email: thuvien@hcmut.edu.vn

Thiết kế website Webso.vn