Kênh dẫn sóng Plasmon

Sáng chế về “Quy trình chế tạo kênh dẫn sóng Plasmon dạng kênh”.

Số bằng: 1-0023151

Ngày công bố: 25/2/2020

Tác giả: Chu Mạnh Hoàng

Chủ bằng: Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội.

Sáng chế đề cập đến quy trình cho chế tạo kênh dẫn sóng plasmon dạng kênh. Kênh dẫn sóng plasmon bao gồm một kênh silic, trong kênh silic này có một kênh dùng để dẫn sóng plasmon và một kênh không khí có thể dùng để dẫn chất lỏng. Kênh silic này được phủ trực tiếp một lớp kim loại hoặc qua một lớp oxit để tạo kênh dẫn sóng plasmon. Kênh silic được chế tạo bằng kỹ thuật khắc và ăn mòn dị hướng ướt silic đơn tinh thể. Lớp oxit được tạo bằng phương pháp oxy hoá hoặc lắng đọng vật lý hoặc hoá học. Lớp kim loại có thể được lắng đọng khi sử dụng phương pháp lắng đọng vật lý như phún xạ, bốc bay.

Đọc toàn văn:

http://www.noip.gov.vn/documents/20182/848931/23151.pdf/933407fa-dc6c-4b5c-9ce6-8a34a094e430

Theo noip.gov.vn

Kênh dẫn sóng Plasmon

Bình luận của bạn
*
*
*
*
 Captcha

Logo Bottom

Địa chỉ: 268 Lý Thường Kiệt, P.14, Q.10, TP.Hồ Chí Minh           Tel: 38647256 ext. 5419, 5420           Email: thuvien@hcmut.edu.vn

Thiết kế website Webso.vn